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$500.00
≥100 Gram
Model No. : | Germanium Tetrafluoride |
---|---|
place of origin : | China |
Zibo, Shandong, China
Descrição do produto
Germânio tetrafluoreide CAS: 7783-58-6 99.999%5n GEF4 Materiais de processo semicondutores
Uso do produto
O tetrafluoreto de germânio é usado para implantação de doping e íons na indústria de semicondutores. O tetrafluoreto de germânio combinado com gás disilano pode fabricar diretamente microcristais de sílica-germanium em substrato de vidro. Também pode ser usado para sintetizar reagentes na indústria química.
Especificações técnicas
S/N | Component | Specifications | ||||
1 | Germanium tetrafluoride (GeF4), %(v/v) | ≥ | 99 | 99.9 | 99.99 | 99.999 |
2 | Carbon tetrafluoride(CF4), ppmv | ≤ | 3200 | 300 | 10 | 1 |
3 | Nitrogen(N2), ppmv | ≤ | 2000 | 100 | 10 | 1 |
4 | Oxygen + Argon(O2+Ar), ppmv | ≤ | 500 | 100 | 20 | 0.5 |
5 | Carbon dioxide(CO2), ppmv | ≤ | 800 | 100 | 5 | 1 |
6 | Carbon monoxide (CO), ppmv | ≤ | 500 | 50 | 10 | 1 |
7 | Sulfur hexafluoride (SF6), ppmv | ≤ | 500 | 50 | 10 | 0.5 |
8 | Hydrogen fluoride(HF), ppmv | ≤ | 2500 | 300 | 35 | 5 |
9 | Content of Chromium (Cr), ppmw | ≤ | - | - | 0.05 | 0.05 |
10 | Content of Iron (Fe), ppmw | ≤ | - | - | 0.08 | 0.08 |
11 | Content of Manganese (Mn), ppmw | ≤ | - | - | 0.01 | 0.01 |
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Zibo, Shandong, China
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